Espectrometro de Fotoelectrones de Rayos X • Kratos • AXIS Nova
Principales ventajas
- Imagen XPS paralela rápida con resolución <3µm
- Análisis de áreas pequeñas <10µm
- Espectroscopia con la más alta resolución de energía Ag 3d5/2 <0.48eV
- Sistema de neutralización de cargas totalmente automático
- Detector contador de pulsos de 100 canales
- Adquisición espectral paralela instantánea (snapshot mode)
- Cañón de iones de baja energía de alta performance
- Transferencia de muestras totalmente automatizada
Algunas aplicaciones
Navegación en pantalla
Navegación de la platina sin perder de vista la muestra
El sistema de navegación Nova permite la rápida definición de las posiciones de análisis para un gran número de muestras en una platina a través de la cámara de alta resolución en el compartimiento de muestras. El elevador de platina permite el intercambio de múltiples platinas para mayor productividad en el análisis de las muestras. La transferencia de platinas a la posición de análisis es simple, segura y rápida, con el click de un botón.
Un espectro Si 2p de un wafer de silicio con una capa delgada de óxido, adquirido en modo "snapshot" en un área de análisis de ~30µm en pocos segundos
Adquisición paralela de espectro
La adquisición de imágenes en paralelo posibilita la determinación simultánea de la composición química superficial en un campo de visión seleccionado. El modo Snapshot ahora permite adquisición paralela de espectros en una ventana seleccionada de energía, sin barrido del analizador de energía. El sistema único de detección del Nova tiene más de 100 canales de datos para producir espectros de buena resolución de energía con suficientres puntos de datos para cubrir niveles "core" complejos. Este modo de adquisición tiene grandes beneficios en tiempo para análisis de áreas pequeñas y perfilameinto XPS en profundidad.
En el ejemplo mostrado arriba, una imagen óptica ortogonal de una serie de puntos de In se usa para alinear la imagen paralela rápida de Cr 2p (rojo) y de In 3d (verde). El espectro de In 3d fue obtenido de un punto de 10µm de diámetro usando un área de análisis de 7µm.