• Alta Sensibilidad
• Ángulo de observación (take off) de 52,5º
• Mejor resolución en elementos livianos.
• Mejores resultados en superficies irregulares
• Cristal Curvo tipo Johansan
• La mayor convergencia de señal. Mayor Resolución. Mayor Sensibilidad
• Estabilidad
• Flexibilidad en el tipo de muestra
• Confiabilidad en muestras con superfícies rugosas
• Foco profundo para el espectrómetro (dependente del angulo de take off)
• Muestras pequeñas y grandes
• Muestras con superfícies curvas
• Corrección de la posición Z con el recurso FFS (Focus Feedback Stage)

Automatización

• Modo de análisis contínuo totalmente automático.
• Análisis cualitativo confiable (inteligencia artificial)

Procesamento de datos

• Análisis por mapeo de superficies con hasta 7 elementos.
• Análisis de estado físico (ej: FeO, Fe2O3, Fe3O4)

Información obtenida

• Imágenes SEM (electrones secundarios) de alta e baja ampliación
• Imágenes BSE (back scattering)
• Análisis cualitativo (alta velocidad)
• Análisis cuantitativo
• Análisis de línea
• Análisis de mapeo
• Análisis de estado físico
• Análisis de cátodo de luminescencia

Muestras Grandes

Shimadzu desarrolló una microsonda electronica especial para posibilitar el análisis de muestras de grandes dimensiones, denominada MACHS-2000 (Mapping Characerizer for Huge Samples). Por grande dimensiones, se entiende un diámetro de 350mm, y una altura de 42mm

Ejemplo de un análisis de un disco de freno con 350mm de diámetro, indicando la distribución de Fe en la pieza.