| Elementos | 5B ~ 92U (4Be - opción) |
| Número de espectrómetros | 2 ~ 5 (WDS) + 1 EDS |
| Ángulo de despegue (take-off) | 52,5º |
| Cristales: Seleccionados entre | LiF, ADP, PET, PbST, LSA55, 70, 120, 200, 300 |
| Tipo de cristales | Curvos (Johansan) |
| Radio del círculo de Rowland | 100mm |
| Resolución de imagen de eletrones secundarios | 6nm (30kV) |
| Detector back-scattering | Semiconductor (super BSE) |
| Ampliación | 50x ~ 400.000x |
| Aceleración de tensión | 0 ~ 30kV (pasos de 0,5kV) |
| Corriente en la muestra | 10-12A ~ 10-6A |
| Estabilidad de la corriente | ± 0,15% o menor |
| Lentes electromagnéticas | 3 etapas (lentes Wittry) |
| Cambio de aperturas | No se necesita |
| Tipo | Objetivo con espejo reflexivo |
| Observación | Binocular, TV color |
| Resolución | 1 mm |
| Profundidad de foco | 4 mm |
| Tamaño máximo de muestra | 100mm² x 50mm |
| Movimiento: X,Y | 90mm ; Z: 7mm |
| Velocidad máxima para cambio de muestra | 10mm/s (durante análisis) |
| Cambio de muestra | Sistema automático de control de vacío |
| Grado de vacío | 1,3 x 10-3Pa o mayor |
| Bomba de vacío | Difusión y rotatoria |
| Indicador de vacío | Pirani y Penning |
| Detección de fugas | Incorporado |