| Módulo de toma de imágenes | 286(ancho) x 566(prof.) x 495(alt.) mm, 50 kg |
| Bomba de vacío de diafragma | 145(ancho) x 220(prof.) x 213(alt.) mm, 4,5 kg |
| Alimentación | 156(ancho) x 300(prof.) x 74(alt.) mm, 3 kg |
| Monitor | 375(ancho) x 203(prof.) x 395(alt.) mm, 7,9 kg |
| Óptico | Aumento: 20-135x |
| Electrónico | Aumento: 80-130.000x. Zoom digital máximo: 12x |
| Óptico | Modo de campo brillante y opaco |
| Electrónico | Fuente de electrones de hexaboruro de cerio (CeB6) de larga vida y alto brillo |
| Potenciales de aceleración | 5 kV y 10 kV para imágenes SEM de resolución sobresaliente |
| Resolución | ≤ 14 nm |
| Óptico | Cámara de navegación a color |
| Electrónico | Detector de electrones retrodispersados de alta intensidad (modos composicional y topográfico) |
| Formato de imagen | JPEG, TIFF, BMP |
| Opciones de resolución | 456 x 456 píxeles, 684 x 684 píxeles, 1024 x 1024 píxeles, 2048 x 2048 píxeles |
| Almacenamiento de datos | Memoria USB, Red |
| Plataforma de muestreo | Controlada digitalmente con motorización X e Y |
| Tamaño de muestra | 32 mm (Ø); 100 mm (h) |
| Tiempo de carga de muestra | Óptico: < 5 seg. Electrónico: < 30 seg. |
| Selección de elementos | 10 mapas individuales personalizados, más imagen mixta y difuminada. Área seleccionada de cualquier tamaño, rectangular |
| Resolución | 16x16 - 512x512 píxeles |
| Tiempo de permanencia en píxel | 10 – 250 mseg. |
| Resolución | 16 - 512 píxeles |
| Tiempo de permanencia unitario | 50 – 250 mseg. |
| Número de líneas total | 12 |