Shimadzu ha lanzado la serie SolidSpec-3700/3700DUV de espectrofotómetros de muy alta performance.
El SolidSpec-3700DUV incorpora la capacidad de mediciones en el UV profundo (Deep UV) hasta 165 nm (con purga de gas nitrógeno).
La serie SolidSpec-3700/3700DUV fue desarrollada usando los últimos avances de la tecnología para satisfacer las necesidades de industrias electrónicas y ópticas y centros de investigación en materiales.
Por ejemplo, pueden medir el área total de wafers de 12 pulgadas (30,5cm), evaluando la reflectancia NIR de los recubrimientos antireflectantes usados en equipamiento para comunicaciones ópticas.
En el otro extremo, la evaluación de materiales ópticos en el UV profundo es necesaria debido a que se usan longitudes de onda cada vez más cortas en los láser de irradiación empleados en sistemas de exposición para producción de semiconductores.