| Resolución | X, Y: 0,2 nm, Z: 0,01 nm |
| Cabezal SPM | Detección de desplazamiento: Fuente de luz/palanca óptica/detector. Fuente de luz: Diodo láser. (635 nm, 5 mW máx.). Irradia continuamente la punta, aun cuando se cambia la muestra. Detector: Fotodetector. Nivel de ruido (convertido a desplazamiento): 20 fm/√H máx. |
| Barrido | Elemento de barrido: Tubo piezoeléctrico. Tamaño máximo de barrido: 2,5 μm x 2,5 μm x 0,3 μm (X, Y, Z). |
| Platina | Tamaño máximo de muestra: 38 mm diám. x 8 mm. Método de cambio de muestra: Mecanismo “Head-slide”. Fijación de la muestra: Magnética. Rango de movimiento del cabezal SPM: 10 mm x 10 mm. |
| Mecanismo de ajuste grueso del eje Z | Método: Totalmente automático, usando motor por pasos. Paso máximo: 10 mm. |
| Microscopio óptico | CCD: Tamaño: 1/3 de pulgada. Píxeles efectivos: 1024 x 768. Lente: Paso: 65 mm. Magnificación óptica: 4x. Iluminación: Iluminación coaxial incidente. |
| Sistema de aislación de vibraciones | Amortiguador de vibraciones: Incorporado |
| Unidad de control | Retroalimentación: Control digital. Interfaz de comunicación: 1000Base-T, protocolo TCP/IP. |
| Unidad de manejo | Control de ejes X/Y: -211 a +211 V /16 bit. Control de eje Z: -211 a +211 V /16 bit. |
| Unidad analógica | Voltaje de entrada: -10 a 10 V. Resolución: 16 bit. Frecuencia de muestreo: 200 kHz. Señal de entrada: 8 canales. |
| Computadora | Memoria principal: 16 GB mín. Dispositivo de almacenado: Disco rígido interno con 250 GB mín. CD-RW. Interfaz de comunicación: 1000Base-T, protocolo TCP/IP. Sistema operativo: Windows 7 Professional (64 bit). |
| Monitor | Panel: Pantalla LCD wide de 23 pulgadas. Resolución: 1920 x 1080 píxeles. |
| Online | Observación: Hasta 8 imágenes en simultáneo. El perfil de la sección transversal puede ser mostrado durante la exploración. Modo de barrido: Alternable entre XY, ZX, y ZXY. Pantalla de control: Se pueden especificar los parámetros de observación. |
| Offline | Visualización: Vista de imágenes en miniatura. Imagen de datos: Visualización, procesado o análisis de las imágenes. Visualización/análisis: Visualización o análisis de las imágenes 3D. |